电子厂房检测
电子洁净厂房一般包括四个部分:洁净生产用房,空调冷冻机房,纯水和气体净化站,人员、物料净化用房。
一、服务背景
随着科学技术的发展,各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、和高可靠性,电子产品本身使用的集成电路、电子元器件的生产过程都要求在受控的环境下进行操作,受控参数涉及微粒、化学污染物等与产品生产过程接触的各种介质。电子厂房内气流组织依据气流流型可划分为单向流、非单向流和混合流三种形式。目前对于超大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点:
1、超大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法,在产品质量的同时,还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。
2、对于空气洁净度等级为1-5级时,基本上采用单向流或混合流;空气洁净度等级为6-9级时,基本上采用非单向流。
3、为有效降低能耗、消除空气处理时冷热抵消现象,对于新风系统常采用集中处理形式
二、服务内容
1、检测项目
温度、相对湿度、照度、照度、噪声、静压差、悬浮粒子数、换气次数、过滤器捡漏、沉降菌
2、检测依据
GB 50472-2008电子工业洁净厂房设计规范
GB 50591-2010洁净室施工及验收规范
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