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配合不同探测器的选择,使Sigma 广泛地适用于您的应用:无论是正在开发的新材料、用于质量检查的颗粒还是生物或地质标本,该电镜可助您研究各种样品。在极端条件下,利用可变压力(VP)成像,借助NanoVPlite,即使在低电压下,也能在非导体上获得出色的图像和分析结果。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。
扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。
对样品的要求
1、不会被电子束分解
2、在电子束扫描下热稳定性要好
3、能提供导电和导热通道
4、大小与厚度要适于样品台的安装
5、观察面应该清洁,物
6、进行微区成分分析的表面应平整
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响
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