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湿度被定义为气体中水蒸气的含量，是一个重要的环境参数，常用单位有：克/升，PPM，mmHg，露点及相对湿度等。测量气体湿度的基本量是混合比，即水蒸气质量和干气质量之比，用重量法湿度计得以实现。但用重量法测量混合比技术难度大、操作繁琐，实际测量湿度量值大多数采用露点。习惯上以露点-20℃为界把所测气体分为高湿度气体与低湿度气体（即微量水）。
大气中的水蒸气影响着自然界的物理、化学和生物过程。湿度影响气体的热、电、光和传递方面的特性。环境湿度还影响固体和液体材料中的水分含量，引起材料的尺寸变化，金属材料的腐蚀，甚至决定生物体的存亡。湿度测量和控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性，各国都在不断更新改造其湿度标准。
电子信号的收集与处理系统
在样品室中，扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号，其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中，主要的是二次电子，它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子，产生于样品表面以下几nm至涡街流量计几十nm的区域，其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像，它是研究样品表面形貌的有用的电子信号。检测二次电子的检测器的探头是一个闪烁体，当电子打到闪烁体上时，就在其中产生光，这种光被光导管传送到光电倍增管，光信号即被转变成电流信号，再经前置放大及视频放大，电流信号转变成电压信号，后被送到显像管的栅极。
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